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一种CVD金刚石涂层前基体预处理工艺.pdfVIP

一种CVD金刚石涂层前基体预处理工艺.pdf

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    本发明公开了一种CVD金刚石涂层前基体预处理工艺，包括如下步骤，将基体进行碱蚀处理，然后进行酸蚀处理，然后使用金刚石微纳米复合粉末对经酸蚀处理的基体进行干法喷砂、然后再使用含金刚石微纳米复合粉末的砂浆进行湿法喷砂，获得经喷砂处理的基体，再将经喷砂处理的基体置于含金刚石粉末的悬浊液中种植籽晶，最后进行热处理。本发明中首先采用酸碱二步法对基体表面进行初步清洗和刻蚀，随后采用干湿法混合喷砂处理，提高基体表面粗糙度，加强涂层和金刚石之间的机械锁和效果，并消除应力集中，缓解残余应力，从而提高膜基结合力。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113106413 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202110417962.7 (51)Int.Cl.

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