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本发明公开一种用于缺陷重检及分类的系统。所述系统可包含控制器,其中所述控制器可经配置以接收样品的一或多个训练图像。所述一或多个训练图像包含多个训练缺陷。所述控制器可进一步经配置以将多个差值滤波器应用到所述一或多个训练图像,且接收指示所述多个差值滤波器的至少一部分的差值滤波器有效性度量的分类的信号。所述控制器可进一步经配置以基于所述所接收分类及所述多个训练缺陷的属性而生成深度学习网络分类器。所述控制器可进一步经配置以提取所述深度学习网络分类器的卷积层滤波器,且基于所述所提取的卷积层滤波器而生成一或
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113168695 B
(45)授权公告日 2022.07.29
(21)申请号 201980079469.X (73)专利权人 科磊股份有限公司
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