一种压电式MEMS传感器以及相关设备.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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一种压电式MEMS传感器以及相关设备.pdf

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本申请公开了一种压电式MEMS传感器以及相关设备，该传感器可应用于终端、智能音响、无线蓝牙耳机、主动降噪耳麦及笔记本、汽车工业等场景中，该压电式MEMS传感器包括具有进声通道的基座，基座的端面固定有支撑层，支撑层覆盖进声通道的通道口，压电式MEMS传感器还包括压电单元，压电单元位于支撑层背离基座的表面，压电单元用于在来自于进声通道的声音信号的作用下获取对应的电压，压电单元包括多个感应件，多个感应件中任意相邻的两个感应件之间形成有间隙。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113163312 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 20201