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提供一种能够执行高精度的虚拟测定处理的虚拟测定装置、虚拟测定方法及虚拟测定程序。虚拟测定装置包括：取得部，取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组；以及学习部，以使通过利用多个网络部对取得的所述时间序列数据组进行处理而输出的各输出数据的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行了处理时的结果物的检查数据接近的方式，使所述多个网络部进行机器学习。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113169036 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980076426.6 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司
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