用于在样本总成上自动地求取位置的方法和相应的显微镜.pdfVIP

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  • 2023-06-14 发布于四川
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用于在样本总成上自动地求取位置的方法和相应的显微镜.pdf

本发明涉及一种用于在显微镜(1)的物体空间中自动地求取样本总成(40)上的多个位置(P1‑P8)的方法以及一种相应的显微镜(1),该显微镜包括规定了光学轴线(8)的显微镜物镜(10),其中,由测量光束机构(19)产生测量光束(30),并且使得该测量光束朝向所述样本总成(40),由产生输出信号的探测器(28)来检测被所述样本总成(40)反射的测量光束(32、32),其中,使得所述样本总成(40)在垂直于所述光学轴线(8)的至少一个方向上移动,其中,根据所述移动,借助所述探测器(28)的在沿着所述

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113167991 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980080980.1 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事

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