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表征玻璃基样品的光学阻滞或应力相关性质的方法包括:将光束(112)引导到玻璃基样品(10)中,同时改变光束的偏振以生成针对每个偏振的散射光(112S)。用图像传感器(114)捕获针对每个偏振的散射光,图像传感器(114)具有曝光时间和帧率。散射光具有在图像传感器处的强度分布。样品被移动,使得图像传感器对每帧的两个或更多个不同强度分布求平均,以形成针对每个偏振的平均强度分布。随后将多个帧的平均强度分布用于表征光学阻滞。光学阻滞可用于确定玻璃基样品的应力相关性质。移动基板减小了由于没有光学阻滞信息的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113167720 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 201980081488.6 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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