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本发明提供一种球形碳酸铈及一种氧化铈的合成方法，包括将铈源和沉淀剂分别溶于水中，制成铈源溶液和沉淀剂溶液；使用惰性气体分别对所述铈源溶液和所述沉淀剂溶液进行鼓泡处理；将鼓泡处理后的沉淀剂溶液添加至鼓泡处理后的铈源溶液中混合，形成反应液；在惰性气体环境下搅拌所述反应液，反应液进行沉淀反应，反应结束后将所述反应液自然冷却至室温；过滤所述反应液，得到球形碳酸铈。将所得球形碳酸铈干燥、焙烧后得到氧化铈。所得氧化铈颗粒经分散处理后可应用于CMP抛光，显示出良好的CMP抛光特性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113120940 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 201911397756.3
(22)申请日 2019.12.30
(71)申请人 安集微电子科技（上海）股份有限公
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