基于局部电场来调整图案化过程的模型中的目标特征的方法.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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基于局部电场来调整图案化过程的模型中的目标特征的方法.pdf

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描述了基于针对所述图案化过程而估计的局部电场来调整所述图案化过程的模型中的目标特征的方法。所述方法包括获得所关注的掩模叠层区域。所述掩模叠层区域具有与电磁波通过所关注的掩模叠层区域的传播相关联的一个或更多个特性。所关注的掩模叠层区域包括所述目标特征。所述方法包括基于与电磁波通过所关注的掩模叠层区域的传播相关联的一个或更多个特性来估计局部电场。所述局部电场是针对所关注的掩模叠层区域的邻近于所述目标特征的一部分而估计的。所述方法包括基于所述估计的局部电场来调整所述目标特征。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113168121 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 201980081031.5 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任