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本发明涉及一种长效运转的转子结构包含转子本体及复数个转子叶片,其中复数个转子叶片环设转子本体之外侧且纵向分布形成复数个转子叶片层,其中转子叶片层具有至少一第一转子叶片层以及复数个第二转子叶片层,其中第一转子叶片层之尾端系以第一横向距离相距涡轮分子式真空泵之容室之侧壁,第二转子叶片层之尾端系以第二横向距离相距容室之侧壁,第一横向距离系实质大于第二横向距离,藉以在保持抽气效率的情况下,防止转子叶片在旋转过程中摩擦碰触容室之阶梯段上之沉积物而产生晃动,故能有效防止转子叶片因撞击其他叶片而碎裂,进而减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113187743 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110378304.1
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 日扬科技股份有限公司
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