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提供一种工艺控制装置及方法。工艺控制装置包括处理器和用于存储由所述处理器执行的多个指令的内存,其中,所述多个指令包括:基于置放在衬底支承部上的衬底的置放位点数据来判断所述衬底的置放位点相对于置放所述衬底的衬底支承部的置放中心点的偏离倾向性的指令,所述置放位点数据通过累积所述衬底的置放位点而生成;根据所判断的偏离倾向性来判断警报等级的指令;以及根据所判断的警报等级来执行后处理的指令,其中所述置放位点数据包括置放位点随时间的变化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113192860 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110047912.4
(22)申请日 2021.01.14
(30)优先权数据
10-2020-0
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