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旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质.pdf

    本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113174578 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110605651.3 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人 广州市尤特新材料有限公司

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