标定抛光头和装卸台位置的装置、抛光设备及标定方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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标定抛光头和装卸台位置的装置、抛光设备及标定方法.pdf

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本发明公开了一种标定抛光头和装卸台位置的装置、抛光设备及标定方法。通过在装卸台的不同位置且位于所述装卸台的边缘设置至少两个测距传感器，各个测距传感器测量自身与抛光头的距离，可以得到当前抛光头与装卸台的位置关系，通过调整抛光头与装卸台，使各个测距传感器所测量的距离相等时，则说明抛光头与装卸台的位置关系处于同轴状态，此时，通过记录抛光头与装卸台的位置，完成对抛光头和装卸台工作位置的标定，相较于现有技术的纯人工标定，本申请的标定精度和效率都有较大提升。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113161268 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110510812.0 (22)申请日 2021.05.11 (71)申请人杭州众硅电子科技有限公司