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本发明适用于太阳能电池领域，提供了一种PERC电池多层膜层制备设备及制备方法，包括依次通过阀门进行通道连接的五个连接腔室、设于各个连接腔室内的滚轮组、及在滚轮组上进行移动的用于装载硅片的镂空载板，镂空载板及硅片作为制备设备的其中一个电极；各个连接腔室分别设有抽气装置、进气装置、以及加热装置；其中五个连接腔室依次包括进料腔室、第一沉积腔室、第二沉积腔室、第三沉积腔室、及出料腔室。本发明中提供的PERC电池多层膜层制备设备，解决了现有PERC电池正背表面镀多种膜层时需要频繁上下料所导致的硅片污染、隐
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113192865 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110410509.3 (51)Int.Cl.
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