1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约2.74万字
  • 约 23页
  • 2023-06-15 发布于四川
  • 举报

干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法.pdf

    本发明提供干燥装置、基板处理装置和基板保持架的干燥方法。干燥装置能够除去在基板保持架的干燥时在干燥槽的内部浮游的颗粒物。本发明的干燥装置(300)具备：干燥槽(320)，其具有壁(322)、用于向壁的内表面供给液体的液体供给口(334)及用于排出内部的液体的排出口(336)；多个喷嘴(340)，其用于向基板保持架(200)喷射气体；液体供给单元(312)，其用于从液体供给口向干燥槽的内部供给液体；气体供给单元(310)，其用于向多个喷嘴供给气体；控制装置(380)，控制装置控制液体供给单元和气体

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113203256 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110149368.4 (22)申请日 2021.02.03 (30)优先权数据

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >