原创力文档- 10
- 0
- 约1.02万字
- 约 9页
- 2023-06-15 发布于四川
- 举报
本发明提供了一种降低光波导损耗的处理方法及装置，该降低光波导损耗的处理方法包括以下步骤：将划片后的芯片依次进行升温阶段、恒温阶段和降温阶段的处理；其中，升温阶段为：以预定升温速率升温至200～250℃；恒温阶段为：在200～250℃保持一定时间；降温阶段为：以预定降温速率降温至50±5℃。该降低光波导损耗的处理方法通过低温烘烤光子芯片恒定时间，消除或降低划片带来的应力问题，直接、快速的实现了光波导传输损耗的降低，同时低温烘烤避免了高温对光子芯片上器件的破坏，简单易行。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113206011 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110292430.5
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
文档评论（0）