一种半封闭双腔真空DBD设备.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种半封闭双腔真空DBD设备.pdf

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本发明公开了一种半封闭双腔真空DBD，所述半封闭双腔真空DBD包括结构单元、控制单元、电极单元和抽真空单元；所述结构单元起承载控制单元和电极单元的作用；所述控制单元分别与结构单元和电极单元连接；所述电极单元分别与结构单元和控制单元连接，通过处于常压状态下的正极与外部的负极形成DBD放电产生等离子体，对薄膜类材料进行等离子体处理；所述抽真空单元与电极单元连接。本发明将正极设置在玻璃管内部，所述玻璃管内部为常压状态，通过处于常压状态下的正极与外部的负极形成DBD放电产生等离子体，同时对两个腔室中的薄

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113178377 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110446753.5 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人苏州德睿源等离子体研究院有限公