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本发明公开了一种基于等离子体技术的混合气体处理设备,该设备包括SF6降解主机与电源部分,主机包括密集组装在一起的混合气体箱、等离子体放电矩阵及尾气收集箱;所述混合气体箱底部装有纯净水,在混合气体箱内待降解气体与稀释气体和水蒸气混合形成混合气;所述等离子体放电矩阵一端与混合气体箱相连,用于对混合气进行等离子体降解处理;所述尾气收集箱与等离子体放电矩阵另一端相连,尾气收集箱内装有碱性吸收液,用于对降解处理后的气体进行洗涤后通过排气管排出。本发明将待降解气体SF6与稀释气体混合的混气装置和放电降解后尾
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113181744 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202011517678.9
(22)申请日 2020.12.21
(71)申请人 武汉
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