在还原共反应剂存在下沉积钨或钼层的方法.pdfVIP

在还原共反应剂存在下沉积钨或钼层的方法.pdf

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本发明描述将金属膜或层沉积到衬底上的气相沉积方法，例如，其中所述金属为钼或钨；所述方法涉及在还原气体(例如，氢气)及含氮还原化合物存在下将金属层从含金属前体气相沉积到衬底上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113195783 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 201980083584.4 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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