一种长晶炉气体供送装置.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种长晶炉气体供送装置.pdf

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本申请公开了一种长晶炉气体供送装置，包括多个对长晶炉的晶体生长腔提供气体的气体供送单元，每个气体供送单元均包括气体源、第一气体通道和第二气体通道，第一气体通道上设有第一流量控制单元，第二气体通道上设有第二流量控制单元；每个气体源经与其对应的第一气体通道和第一流量控制单元与晶体生长腔气路连通，每个气体源经与其对应的第二气体通道和第二流量控制单元与晶体生长腔气路连通；当第一流量控制单元和第二流量控制单元中的一个处于异常工作状态时，气体源经两者中的另一个所在的气路对晶体生长腔提供所需气体。本申请所公开

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113174637 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110455087.1 (22)申请日 2021.04.26 (71)申请人山东天岳先进科技股份有限公司