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本发明的目的是提供一种用于金刚石表面平坦化加工的激光加工装置及方法,包括用于对待加工金刚石表面高点进行削平处理的激光系统组件、用于固定待加工金刚石且能够沿X轴、Y轴方向运动以及自身进行旋转的加工平台组件、用于对待加工金刚石表面形貌进行检测的同轴光位移传感器、用于调控加工和检测过程以及处理分析数据的数控系统,利用激光倾斜角度拉大离焦量范围,使高点多去除、低点少去除,实现金刚石表面高效率平坦化加工,解决目前金刚石表面难加工、效率低、易损伤的难题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113172342 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110529102.2
(22)申请日 2021.05.14
(71)申请人 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
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