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本发明提供一种镀层控制装置,该镀层控制装置应用于利用金属蒸汽对钢板进行物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)以形成镀层的PVD镀覆工艺。镀层控制装置包括:坩埚,放入有熔融材料;电磁感应线圈,设置在坩埚的外围,加热放入坩埚中的熔融材料并形成熔汤,以从熔汤产生金属蒸汽;电源单元,向电磁感应线圈供应电流;以及控制单元,测量电磁感应线圈的阻抗,并根据以恒定的供应速度放入坩埚中的熔融材料控制供应到所述电磁感应线圈的电流,以使电磁感应线圈的阻抗恒定。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113195781 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 201980084764.4 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限
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