微透镜阵列的制备方法，薄膜厚度监测方法、系统及装置.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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微透镜阵列的制备方法，薄膜厚度监测方法、系统及装置.pdf

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本申请公开一种微透镜阵列的制备方法，薄膜厚度监测系统及装置。该方法利用光谱共焦技术，使用梯度折射率微透镜阵列将入射光离散为一系列焦点，将待测膜层置于焦点处，反射的信号光再次经过梯度折射率微透镜阵列，信号光由分光元件进行色散处理后经成像透镜成像在面阵探测器上，面阵探测器接收待测膜层厚度的不同波段信号光，通过对信号光进行分析处理即可获知待测膜层平面度、均匀性、厚度信息。对于光学件进行膜层蒸镀时，降低膜层厚度实时监测难度，从而保证了测量精度能够满足要求。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115308822 A (43)申请公布日 2022.11.08 (21)申请号 202210073008.5 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人苏州东辉光学有限公司地址 215