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- 2023-06-15 发布于四川
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本发明公开了一种硅片烘烤用加热装置，其包括输送构件和烘箱，所述烘箱两侧均设置有开口，所述输送构件通过烘箱两侧的开口贯穿于烘箱内腔下部，所述烘箱上端固定安装有分流罩，所述分流罩上端固定安装有电热箱，所述电热箱上端固定安装有进风罩，所述电热箱的一侧固定安装有安装板，所述安装板上端固定安装有鼓风机，所述鼓风机的出风端固定连接有排风管，所述排风管的另一端与进风罩固定连接，所述电热箱的前端固定安装有电控盒，所述电热箱内固定安装有电热网。本发明所述的一种硅片烘烤用加热装置，能同时烘干大量硅片，硅片受热烘干均
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113206167 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110379658.8
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 涌明科技（上海）有限公司
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