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本发明涉及低温泵技术领域，公开了一种包括真空腔体、与所述真空腔体连通的四极质谱计及至少两个进气管，所述真空腔体的底部设有制冷机，所述真空腔体的内部设有冷屏，所述冷屏的顶部设有辐射障板，所述冷屏的内部设有用于承托低温板的紫铜热沉，所述紫铜热沉与所述制冷机之间连接冷头，所述冷头及所述紫铜热沉上均设有温度传感器及加热模块。本发明可研究测试不同温度下低温板表面的抽气性能及对气体的低温吸附系数。同时采用多路质量流量控制器向测试腔中通入混合气体，可研究测试低温板表面对混合气体以及单种气体的抽气性能和低温吸附
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115308291 A
(43)申请公布日 2022.11.08
(21)申请号 202210950184.2
(22)申请日 2022.08.09
(71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院
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