一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂.pdf

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本发明属于感光材料技术领域，尤其涉及一种光聚合单体，及其组成的高分辨率高附着LDI干膜抗蚀剂。本发明通过对现有丙烯酸酯化合物进行改性，并且配合特定组成和比例的碱可溶性树脂、光引发剂组分以及添加剂的方式，制得综合性能突出的干膜抗蚀剂，以满足下游PCB面板生产厂商用LDI曝光方法制作高精密内层板工艺的要求。本发明具有以下优点：第一、改进的功能性光聚合单体，可以使得最终的干膜抗蚀剂与覆铜板基材之间的附着力，自身的耐蚀刻能力、显影性和分辨率都得到大大提高；第二、干膜抗蚀剂的光敏性提高、显影速度加快，能满

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113174040 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110460318.8 C08G 65/335 (2006.01)