原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种电路板精细线宽/间隙多次光刻‑蚀刻的加工方法，包括以下步骤：一；确定所述线路板上所要加工位置，在线路板上所要加工位置处的四周表面涂布一层保护胶膜；二；在线路板上的加工位置上，使得线路板的加工位置处形成凹槽或缺口，同时控制蚀刻的深度及侧蚀量；三；在第一次蚀刻完成后的表面及凹槽或缺口的侧壁上再次涂布一层保护膜；四；对第一次光刻加工完的凹槽或缺口底部进行第二次光刻加工，同时控制蚀刻的深度及侧蚀量，采用补偿方法逐次将凹槽直径或缺口间隙修正；如此重复光刻‑蚀刻直至线路板上所要加工位置形成精细的间隙。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113194621 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110521303.8
(22)申请日 2021.05.13
(71)申请人 湖南好易佳电路板有限公司
文档评论（0）