原创力文档- 1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种双波长双共焦激光显微测量装置与测量方法，涉及光学精密检测技术领域，目的在于同时提升激光共焦系统的轴向分辨能力和横向分辨能力。本发明采用的技术方案是：双波长双共焦激光显微测量装置，包括激光器、入射光路、反射光路和探测装置，第一激光器I和激光器Ⅱ分别发出不同波长的激光束，经分束镜、准直器、偏振分光镜、四分之一玻片、物镜会聚到样品，反射光经物镜、四分之一玻片后，被偏振分光镜反射，再被半反半透镜分成两路，再分别进入探测器I和探测器Ⅱ进行探测。本发明将探测器I和探测器II分别安装于与物镜焦
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113189102 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110476165.6
(22)申请日 2021.04.29
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
文档评论（0）