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一种近眼显示器衍射光栅波导的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种近眼显示器衍射光栅波导的制备方法.pdf

    本发明公开一种近眼显示器衍射光栅波导的制备方法，涉及近眼显示技术领域，方法包括：制备具有衍射光栅波导图案的纳米压印模板，然后进行钝化处理；将经过钝化处理后的纳米压印模板的衍射光栅波导图案，通过纳米压印工艺转印至多个转印模板，得到多个具有衍射光栅波导图案的反图案的转印模板；将每个转印模板上的衍射光栅波导图案的反图案通过纳米压印工艺转印至波导衬底，得到近眼显示器衍射光栅波导；转印模版为石英模板或聚合物的柔性模板；波导衬底为透明聚合物衬底且为曲面衬底；纳米压印工艺为热压印或紫外压印。本发明可用于近眼显

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116256829 A (43)申请公布日 2023.06.13 (21)申请号 202310295930.3 G02B 6/124 (2006.01)

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