原创力文档- 5
- 0
- 约1.25万字
- 约 14页
- 2023-06-15 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种光栅的加工方法，包括：使用激光照射光栅基材待加工区域表面，促使该区域表面发生氧化反应，得到条纹方向平行于激光偏振方向的光栅条纹；其中照射在光栅待加工区域表面的激光的能量密度低于所述物质的烧蚀阈值，大于等于所述物质的氧化阈值。本发明还公开了一种实施上述方法的设备。本发明零级涡旋半波片产生结构光场，在规模上采用单束激光曝光产生包括环形，辐射形和涡旋形等特殊形状的亚波长光栅。制备过程中，利用散射激光强度实现条纹形成过程的实时监测。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113204065 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110219276.9
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 西湖大学
地址 31
您可能关注的文档
- 形成半导体结构的方法和半导体结构.pdf
- 高压罐的制造方法.pdf
- 通信装置.pdf
- 蒸发舟.pdf
- 加湿空气净化机.pdf
- 电感器结构及形成其的方法.pdf
- 微影系统和标线片结构及其制造方法.pdf
- 磁流变半主动悬架阻尼力约束线性分段控制方法.pdf
- 具有多个光电二极管的高动态范围成像像素.pdf
- 用于运行由移动设备和家用设备组成的系统的方法.pdf
- 计量规程规范 JJF 2476-2026腹膜透析机校准规范.pdf
- 《JJF 2465-2026天然气在线硫化氢气体检测仪校准规范》.pdf
- JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范.pdf
- 《JJF 1111-2026调制度测量仪校准规范》.pdf
- 计量规程规范 JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范.pdf
- 《JJF 2471-2026实时荧光定量聚合酶链反应核酸检测系统分析性能确认和验证技术规范》.pdf
- 《JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范》.pdf
- JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2470-2026食用油品质检测仪校准规范.pdf
文档评论（0）