一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜.pdf

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本发明涉及一种纳米步进样品扫描计量型扫描电子显微镜，二维激光干涉仪包括两个干涉仪，干涉仪分别位于测量样品在X方向和Y方向的位置，干涉仪的光源通过光纤从激光器引入，穿过玻璃窗的真空窗口片，在电镜内分成两束，分别入射到两个干涉镜；超声电机粗调位移台做扫描运动时，一个出射干涉光经真空窗入射到光电探测器作为位移台X轴位移数据信号；另一束干涉光经平面反射镜反射后入射靠近舱门的干涉仪，出射干涉光由另一个探测器接收作为位移台Y轴位移数据信号；所述X、Y轴位移数据配合电镜采集样品表面由电子束激发的二次电子信号，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 105353170 A (43)申请公布日 2016.02.24 (21)申请号 201510873126.4 (22)申请日 2015.12.04 (71)申请人中国计量科学研究院地址 1000