一种进气装置及化学气相沉积设备.pdfVIP

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本公开提供了一种进气装置,该进气装置包括:送气结构、缓冲气室、调节装置、出气板、气流挡板和外壳;送气结构与外壳相连接;出气板与外壳相连接,形成缓冲气室;气流挡板位于缓冲气室内,气流挡板的中心与送气结构的中心重合;气流挡板与调节装置相连接;调节装置控制气流挡板沿进气方向往复移动;出气板上包括若干出气孔。本公开通过在送气口设置气流挡板,与缓冲气室配合,可有效减轻气体流速不均匀性,同时,出气板的均匀开孔可以确保后续气流整体流速、流量均匀性较好。且单间缓冲气室与单层出气板可有效降低装置总体结构复杂度、降

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113186594 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110478031.8 C30B 29/36 (2006.01) (22)申请日 2

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