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- 2023-06-15 发布于四川
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本发明实施例涉及生物传感器。根据本发明的一些实施例，一种生物传感器包含：半导体层，其具有第一表面及与所述第一表面对置的第二表面；FET装置，其在所述半导体层中；隔离层，其在所述半导体层的所述第一表面上方；电介质层，其在所述隔离层及所述半导体层的所述第一表面上方；及一对第一电极及一对第二电极，其在所述电介质层上方且彼此分离。所述隔离层具有基本上与所述FET装置对准的矩形开口。所述矩形开口具有一对第一侧及一对第二侧。所述一对第一侧的延伸方向垂直于所述一对第二侧的延伸方向。所述一对第一电极安置于所述一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113203773 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110334068.3
(22)申请日 2021.03.29
(30)优先权数据
16/851,00
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