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本发明提供了一种晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法。其中，晶圆视觉检测方法包括：在上料区检测晶圆盒的位置偏移；在工作区检测晶圆的损坏情况；在下料区检测晶圆的第一数量。从而利用在不同区域的晶圆盒定位、晶圆损坏情况、晶圆数量检测，完善晶圆的检测机制，保证检测数据的准确性，使得用户可以实时监控晶圆和晶圆盒的状态，有效的避免设备异常造成的成本损失。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113161254 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110316188.0
(22)申请日 2021.03.24
(71)申请人 创微微电子（常州）有限公司
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