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本发明公开了一种利用机械臂的等离子装置，包括方形装置框架，其上面一层右侧处的等离子体处理空腔内部设置等离子体喷枪与机械臂辅助处理装置。采用机械臂带动离子体喷枪在等离子处理空腔内运动；喷枪距离检测单元安装于机械臂表面用于采集等离子体喷枪喷头处与被处理的表面的距离，并将采集的数据通过其对应的线路传输至CPU；其上面一层的左侧为控制开关柜；控制开关柜中设置机械臂控制面板、等离子体处理装置控制面板、机械臂控制电路、等离子体处理装置控制电路、气源供应开关以及无线传输装置；CPU通过无线传输装置实现与控制平
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113192813 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110582127.9
(22)申请日 2021.05.27
(71)申请人 南京珀斯佩特电子科技有限公司
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