一种微小的阵列压电传感器.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种微小的阵列压电传感器.pdf

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本发明提供一种微小的阵列压电传感器，包括：多个阵元，所述阵元阵列排布；所述阵元设有陶瓷层，所述陶瓷层上下表面设有上金属电极层和下金属电极层，所述上金属电极层上侧设有耦合层，所述下金属电极层下侧设有背衬层；所述上金属电极层连接第一引出线，所述第一引出线穿过所述背衬层引出外侧；所述下金属电极层连接第二引出线，所述第二引出线穿过所述背衬层引出外侧；多个所述阵元之间设有填充介质。本发明的微小的阵列压电传感器的阵元表面平整度好，同时第一引出线、第二引出线均从背衬层穿出，便于装配。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113161475 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110337764.X (22)申请日 2021.03.30 (71)申请人广东奥迪威传感科技股份有限公司