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一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法.pdf

    本发明公开了一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；上层结构和下层结构均构成梳齿型倍增电容加速度传感器，分别由动电极及定电极组成；中层结构构成三明治式差分电容加速度传感器，包括上、下级板和质量块。本发明具有电容正对面积大、量程大、灵敏度高、可靠性高、集成度高、成本低、噪声低、性能稳定等优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113176423 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110578087.0 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人 中国

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