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本发明涉及一种微小型两自由度超声电机及其驱动方法，该微小型两自由度超声电机包括基座、x轴运动单元、y轴运动单元和载物台，其中x轴运动单元固定连接在基座上，y轴运动单元固定连接在x轴运动单元的从动件上，载物台固定连接在y轴运动单元的从动件上。驱动方法是：x轴运动单元与y轴运动单元的运动互相独立，驱动方法一致，通过控制x轴运动单元与y轴运动单元的压电叠堆的超声激励信号，在x轴和y轴分别可以实现合成锯齿波，从而产生两个轴的独立运动。优点在于：装置结构微型化、驱动方法简单、速度快、精度高、成本低、易于集
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113193780 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110604750.X
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 吉林大学
地址 13
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