一种单晶炉尾气净化回收系统及方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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一种单晶炉尾气净化回收系统及方法.pdf

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本发明公开一种单晶炉尾气净化回收方法，包括：S1除尘，将单晶硅炉尾气过滤除尘，除去固体杂质；S2冷却分离，将除尘后的尾气冷却，分离出不凝气体和冷凝液；S3氩气回收，将不凝气体经过除碳、脱氧、纯化处理后得到高纯氩气。本发明还公开一种用于上述方法的单晶炉尾气净化回收系统。本发明可以对单晶硅炉尾气中的氩气进行回收，回收的高纯氩气可以通入单晶炉进行循环利用，降低单晶硅生产成本，还可以减少尾气中的烃类物质，减少环境污染。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113244766 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 20201