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本发明提供了一种弹性应变传感器及其制备方法,包括:步骤M1:刻蚀MAX相材料得到MXene材料;步骤M2:在MXene材料中添加导电材料,得到MXene复合材料;步骤M3:将MXene复合材料修饰到支撑材料上,形成应变传感器的敏感层;步骤M4:在基底上涂覆弹性电极支撑层,并图形化;步骤M5:在弹性电极支撑层上利用剥离工艺制备电极导电层;步骤M6:去除基底得到弹性电极;步骤M7:浇铸弹性聚合物制备弹性衬底,将弹性电极转移至弹性衬底上;步骤M8:将应变传感器的敏感层置于弹性电极上。本发明传感器采用在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113218296 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 202110308757.7 B32B 17/06 (2006.01)
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