原创力文档- 1、本文档共16页，其中可免费阅读15页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种共光路差分干涉位移测量系统及方法，系统包括相干光源，用于发出两束相干的激光，所述激光为一束测量臂和一束参考臂；位移元件，用于将待测物理量转换为测量臂沿基准光栅矢量方向的光平移量；合束元件，用于将测量臂与参考臂合束；基准光栅，用于使位移后的测量臂产生衍射多普勒效应，将测量臂与参考臂合束产生的干涉信号分为多路以作差分；相位探测元件，用于干涉信号的探测及相位计算。位移测量系统中，多路干涉信号相位的差分可以消除合束元件之前的环境扰动误差，而合束后的环境扰动误差可以通过测量臂与参考臂的共光路
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113237427 B
(45)授权公告日 2022.04.29
(21)申请号 202110526074.9 (56)对比文件
文档评论（0）