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具有状态监控的销举升装置.pdfVIP

具有状态监控的销举升装置.pdf

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    一种销举升装置(10)且特别是销举升器，其被设计用于在可由真空处理室提供的处理气氛区域内移动和定位待处理基片特别是晶圆。销举升装置(10)包括被设计成接收适于接触并支承该基片的支承销的接头(32)以及驱动单元(12)，其被设计且与接头(32)相互作用，使得接头(32)可以沿调节轴线(A)从降低的正常位置线性调节到伸出的支承位置和返回调节。销举升装置(10)具有至少一个传感器单元(41‑44)，其被设计和布置成可以与销举升装置(10)的至少一部分相关地借助传感器单元(41)产生与力有关和/或与加速

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113228247 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980083018.3 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限

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