感光性树脂组合物及干膜，感光性干膜、抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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感光性树脂组合物及干膜，感光性干膜、抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法.pdf

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本发明提供用于利用h线的曝光且镀覆液抗性及裂纹抗性优异的化学放大型正型感光性树脂组合物；具备由化学放大型正型感光性树脂组合物构成的感光性树脂层的感光性干膜；及感光性干膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的图案化的抗蚀剂膜、使用化学放大型正型感光性树脂组合物的带铸模基板、使用带铸模基板的镀覆造型物的制造方法。化学放大型正型感光性树脂组合物为了制作在具有金属表面的基板上形成镀覆造型物用的铸模而使用，含有产酸剂(A)与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)，产酸剂(A)包含具有特定萘二甲酰亚胺骨架

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113260921 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 201980084592.0 (74)专利代理机构上海立群专利代理事务所

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