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具有包括支撑管芯的接合结构的三维器件及其制备方法.pdfVIP

具有包括支撑管芯的接合结构的三维器件及其制备方法.pdf

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    包括存储器元件三维阵列的存储器管芯和包括支持存储器元件三维阵列的操作的外围电路的逻辑管芯可以通过管芯到管芯接合来接合以提供接合组件。可通过形成穿过该存储器管芯或穿过该逻辑管芯的凹陷区来提供用于接合组件的外部接合焊盘，以物理地暴露互连层级介电层内的金属互连结构。这些外部接合焊盘可包括这些金属互连结构的物理暴露的子集，或者可形成在这些金属互连结构的物理暴露的子集上。另选地或除此之外，横向绝缘外部连接通孔结构可通过该接合组件形成到这些金属互连结构的多个层级。此外，延伸穿过该存储器管芯的阶梯式介电材料部

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113228234 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980085576.3 J ·凯　M ·乔杜里　松野光一　

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