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本发明涉及一种基于位相编码元件的结构光三维形貌测量方法及装置。计算机模块将二值化或正弦条纹的编码参数输入投影模块,生成相应的条纹图案,再经位相编码元件调制后在轴向延拓的景深范围内形成标准正弦光场图案,投射到位于载物平台上的待测元件表面,相机模块采集由其反射的位相编码变形条纹图案,输入计算机模块,经数据处理得到待测元件表面的三维形貌分布。本发明利用位相编码元件有效地调制投影用二值化或正弦条纹,在保证轴向投影光场正弦一致性的基础上,极大地延拓了系统的投影成像景深;采用位相编码条纹相位解调算法,增强了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113237437 A
(43)申请公布日 2021.08.10
(21)申请号 202110615700.1
(22)申请日 2021.06.02
(71)申请人 苏州大学
地址 21
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