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一种带电粒子系统(400),可以包括设置在第一轴(470)上的第一带电粒子束源,以及设置在第二轴上的第二带电粒子束源(420)。还可以提供一种布置在第一轴上的偏转器(430)。偏转器可以被配置为将从第二带电粒子束源生成的射束朝向样品(403)偏转。一种操作带电粒子束系统的方法,包括:在操作偏转器(430)的第一状态和第二状态之间切换。在第一状态下,可以熄灭从第一带电粒子束源生成的第一带电粒子束,并且朝向样品引导从第二带电粒子束源生成的第二带电粒子束。在第二状态下,可以熄灭第二带电粒子束,并且朝向
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113228219 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980087174.7 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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