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电子倍增器的制造方法及电子倍增器.pdfVIP

电子倍增器的制造方法及电子倍增器.pdf

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    一种电子倍增器的制造方法，电子倍增器具备：主体部；通道，其以在主体部的一端面及另一端面开口的方式设置于主体部，根据射入的电子放出二次电子，其中，电子倍增器的制造方法具备：第一工序，准备主体部件，主体部件具有一端面及另一端面，且设置有用于连通一端面和另一端面的通道的连通孔；第二工序，在主体部件的外表面及连通孔的内表面通过原子层沉积法形成至少包含电阻层的沉积层，由此形成通道；第三工序，通过除去形成于主体部件的外表面的沉积层，形成主体部。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113223909 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110267566.0 H01J 9/12 (2006.01)

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