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本发明提供一种基于截距法和微环谐振腔的光器件损耗测量方法。通过在微环谐振腔阵列中插入不同数目的待测器件,经过光谱测量、参数提取、线性拟合等步骤得到单个待测器件的损耗。该方法相比传统的光损耗截距测量法可以减小芯片面积,提高测量精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113203554 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202110472474.6 审查员 杨慧
(22)申请日 2021.04.29
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