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2023-06-16 发布于四川
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一种基片缺陷检测装置与方法.pdf

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本发明是一种基片缺陷检测装置与方法，基片缺陷检测装置包括支撑框架、照明与拍摄模块、承片模块和控制系统；支撑框架包含半球壳、底座和连接段，半球壳通过连接段设置在底座上；连接段上设置有送片窗口，半球壳上均匀设置有多个安装孔，各安装孔的轴线设置为穿过半球壳的球心；承片模块安装在底座上，用于稳定承载待检测基片；照明与拍摄模块能够实现对承片模块上待检测基片的照明与拍摄；控制系统用于照明与拍摄模块和承片模块的信号采集、数据处理以及联动控制。本发明基于散射成像基本原理，采用全方位多场照明与拍摄的方式，进行基片

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113218961 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110430767.8 (22)申请日 2021.04.21 (71)申请人中国科学院光电技术研究所

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