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本申请涉及一种跨尺度精密运动平台，包括保护座及位于保护座内的运动机构，运动机构包括压电陶瓷、及设置在压电陶瓷两侧的运动组件和惯性组件，压电陶瓷接收外部驱动信号以驱动运动组件和惯性组件；其中，惯性组件包括惯性传动件及与惯性传动件连接的惯性摩擦件，保护座上设置有导轨，惯性摩擦件与导轨滑动配合。通过上述方式，其能够提高运动平台的运动稳定性，减小误差进而提高运动精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113206616 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110602764.8
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 苏州大学
地址 21
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