原创力文档- 1、本文档共16页，其中可免费阅读15页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装、检测和调试直写光刻设备成像光路的系统以及方法，其中，用于检测和调试直写光刻设备成像光路的工装，包括背光组件，背光组件包括光源、光传输单元和容纳筒，容纳筒上设置有出光孔，光源和光传输单元均设置在容纳筒内，光传输单元用于将光源的出射光传输至出光孔处；星点板，星点板设置在出光孔处，星点板上设置有透光孔阵列，光源的出射光照射到星点板上；连接组件，连接组件用于连接背光组件和待测成像光路，以使得透过星点板的光线通过待测成像光路成像。本发明实施例的用于检
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113204176 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110458658.7
(22)申请日 2021.04.27
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
文档评论（0）